オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2001/03
発表テーマ	ＭＯＣＶＤ法によるＨｆＯ_2_膜の堆積（Ⅰ）
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	応用物理学会　春季応用物理学関係連合講演会 鈴木、星野、町田、小椋、大下