オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2000/10
発表テーマ	LPCVD of TaCN thin film for barrier layer in Cu interconnection
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　　Advanced Metallization Conference A.Hoshino,S.Hiro, and H.Machida,Y.Ohshita,