カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	2019/09/15
発表テーマ	非晶質・ナノ結晶SiC含有シリコン酸化膜の光学特性のSi，C添加量及び熱処理温度依存性
会議名	第80回応用物理学会秋季学術講演会（19a-PB3-9）
主催者	応用物理学会
学会区分	全国学会
発表形式	ポスター
単独共同区分	共同
開催地名	北海道大学
発表者・共同発表者	成松 伶，勝俣 裕