オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2000/10
発表テーマ Photoluminescence Analysis of Anealing Process in Low-Dose SIMOX Wafers
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 国際会議 IEEE International SOI Conference
M.Tajima,
s.Ibuka,J.Takiguchi,A.