カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	2021/08/21
発表テーマ	窒化シリコン膜の膜質に及ぼすSi添加および熱処理雰囲気の影響
会議名	第１９回シリサイド系半導体・夏の学校（P-31, p. 60)
主催者	応用物理学会シリサイド系半導体と関連物質研究会
学会区分	研究会・シンポジウム等
発表形式	ポスター
単独共同区分	共同
開催地名	オンライン
開催期間	2021/08/21～2021/08/22
発表者・共同発表者	松田 朋大，城所 拓海，勝俣 裕