オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
1999/03
発表テーマ
ダメージピークに埋め込み酸化膜を持つSIMOX
発表形式
口頭(一般)
発表者・共同発表者
応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会