オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
1998/12
発表テーマ
ＳＯＩ基板の現状とサブ0.1umデバイス適用への課題
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
日本学術振興会第145委員会（結晶加工と評価技術）第79回研究会（招待講演）