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カツマタ ヒロシ
KATSUMATA Hiroshi
勝俣 裕 所属 明治大学 理工学部 職種 専任准教授 |
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| 発表年月日 | 2022/03/24 |
| 発表テーマ | RFマグネトロン共スパッタリング法によるSiC添加SiOx系薄膜の作製と光吸収および発光スペクトルの評価 |
| 会議名 | 第69回応用物理学会春季学術講演会（24p－F408-4） |
| 主催者 | 応用物理学会 |
| 学会区分 | 全国学会 |
| 発表形式 | 口頭（一般） |
| 単独共同区分 | 共同 |
| 開催地名 | 青山学院大学（オンラインとのハイブリッド開催） |
| 開催期間 | 2022/03/22～2022/03/26 |
| 発表者・共同発表者 | 中村 昂雅，小野 恒義，勝俣 裕 |