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カツマタ ヒロシ
KATSUMATA Hiroshi
勝俣 裕 所属 明治大学 理工学部 職種 専任准教授 |
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| 発表年月日 | 2022/03 |
| 発表テーマ | SiNx膜の膜質に及ぼすスパッタガス圧力，Ar/N2比及びSi添加の影響 |
| 会議名 | 第69回応用物理学会春季学術講演会（26a－E103-6） |
| 主催者 | 応用物理学会 |
| 学会区分 | 全国学会 |
| 発表形式 | 口頭（一般） |
| 単独共同区分 | 共同 |
| 開催地名 | 青山学院大学（オンラインとのハイブリッド開催） |
| 開催期間 | 2022/03/22～2022/03/26 |
| 発表者・共同発表者 | 松田 朋大，城所 拓海，勝俣 裕 |