オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
1997/10
発表テーマ
酸素注入したＳi基板の熱処理による酸化膜形成過程
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
応用物理学会 秋季学術講演会
小野、五十嵐