オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	1996/03
発表テーマ	電圧印加エッチストップによる貼り合わせＳＯＩの薄膜化
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会