オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	1996/03
発表テーマ	低ドーズＳＩＭＯＸ基板の膜厚方向欠陥分布測定
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	応用物理学会　春季応用物理学関係連合講演会 辰巳、浜島、菊池