オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
1996/01
発表テーマ
表面選択X線トポグラフィによるSOI基板の評価
発表形式
口頭(一般)
発表者・共同発表者
日本放射線光学会 年会
木村、石川