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カツマタ ヒロシ
KATSUMATA Hiroshi
勝俣 裕 所属 明治大学 理工学部 職種 専任准教授 |
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| 発表年月日 | 2024/07/20 |
| 発表テーマ | RFマグネトロンスパッタリング法により作製したSiC添加SiOx薄膜の光学的特性のRFパワー依存性 |
| 会議名 | 第21回シリサイト゛系半導体・夏の学校（P-26） |
| 主催者 | 応用物理学会シリサイド系半導体と関連物質研究会 |
| 学会区分 | 研究会・シンポジウム等 |
| 発表形式 | ポスター |
| 単独共同区分 | 共同 |
| 開催地名 | リステル浜名湖 |
| 開催期間 | 2024/07/20～2024/07/21 |
| 発表者・共同発表者 | 岩崎 颯太，勝俣 裕 |