オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	1992/06
発表テーマ	トンエルエピキタシー
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	電気学会　超微細製造技術調査専門委員会（招待講演）