オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	1990/05
発表テーマ	Imporovement of SiO_2_/Si Interface Flatnesws by Post Oxidation Anneal
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議 International Symposium on Silicon Materials Science and Technology