カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	2012/09/14
発表テーマ	RFスパッタ法によるZnO薄膜の作製におけるGa添加とその後の窒化処理の影響
会議名	2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会
主催者	応用物理学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	荒木拓海、岩田純一、勝俣裕