オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 1990/01
発表テーマ ステップレーザーアニール法によるSOIの種無し結晶方位制御
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 応用物理学会 応用電子物性分科会