オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 1989/09
発表テーマ Si/SiO_2_ interface Structure in SOI and Thermally Oxidized S
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 国際会議 International Symposium on Passivity
N.Aizaki