オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	1987/08
発表テーマ	Gas Source Si□MBE Using SiH_4_
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　Conference on Solid State Devices and Materials H.Hirayama,T.Tatsumi,N.Aizaki