ナカベップ　オサム   Nakabeppu Osamu   中別府　修    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2009/10/15
発表テーマ	MEMS技術を用いたカンチレバー型カロリメータ
会議名	第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
主催者	日本機械学会マイクロ・ナノ専門会議
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	杉本拓也，宮川幸弘
概要	熱電対，ヒーター，サーモパイル等を集積したカンチレバー型カロリメータに関する報告を行った。