オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2006/08
発表テーマ	UV/可視－ラマン分光によるSi_3_N_4_/Si界面歪の評価
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	応用物理学会秋季学術講演会　◎小瀬村、山崎、掛村、吉田、小椋、内田、服部、吉丸