カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	2011/12/12
発表テーマ	Deposition of TaN Films by RF sputtering and their barrier properties in Cu/TaN/Dielectrics/Si MIS structures
会議名	6th International Symposium on Surface Science (ISSS-6)
主催者	The Surface Science Society of Japan
発表形式	ポスター
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	Hiroaki Tajima, Hiroshi Katsumata, Shin-ichiro Uekusa