ミウラ ノボル
Miura Noboru
三浦 登
所属
明治大学 理工学部
職種
専任准教授
発表年月日
1997/03
発表テーマ
Hf1+xTi1-xO4スパッタリング薄膜の成膜におけるHeガス添加効果
発表形式
口頭(一般)
発表者・共同発表者
◎伊藤純*(大学院生) , 角田敦*(大学院生) , 三浦豊(助手) , 松本皓永(専任講師) , 中野鐐太郎(教授)