カツマタ ヒロシ
KATSUMATA Hiroshi
勝俣 裕 所属 明治大学 理工学部 職種 専任准教授 |
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発表年月日 | 2011/09/01 |
発表テーマ | TaN薄膜の電気抵抗値に及ぼすフラッシュランプ熱処理の影響 |
会議名 | 2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会 |
主催者 | 社団法人 応用物理学会 |
発表形式 | 口頭(一般) |
単独共同区分 | 共同 |
発表者・共同発表者 | 田島 裕章、勝俣 裕、平田 雄也、植草 新一郎 |