オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志 所属 明治大学 理工学部 職種 専任教授 |
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発表年月日 | 2006/03 |
発表テーマ | Measurement of in-plane and depth profiles of strain in strained-Si substrates |
発表形式 | 口頭(一般) |
発表者・共同発表者 | 'Second Workshop of the Thematic Network on Silicon on Insulator technology, devices and circuits (Grenoble, France) ◎D. Kosemura, K. Yamasaki, S. Tanaka and A. Ogura' |