オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志 所属 明治大学 理工学部 職種 専任教授 |
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発表年月日 | 2006/11 |
発表テーマ | X-ray photoelectron spectroscopy study on SiO_2_ formed on several orientated c-Si in high pressure water vapo |
発表形式 | 口頭(一般) |
発表者・共同発表者 | '2006 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ULSI DEVICES: SCIENCE AND TECHNOLOGY (Kawasaki) ◎N. Yamamoto, S. Tanakak, H. Sai, R. Imai, E. Ikenaga, I. Hirosawa, Y. Ohshita and A. Ogura' |