オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2006/03
発表テーマ	SOI および歪Ｓｉ基板技術の動向と評価技術
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	春季応用物理学関係連合講演会　◎小椋