カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	2011/03/24
発表テーマ	反応性スパッタリング法で作製したTaN薄膜の熱処理依存性
会議名	2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
主催者	社団法人　応用物理学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	田島裕章，勝俣　裕，植草新一郎