オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2005/11
発表テーマ	Ni-silicide precursor for gate electrode
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	'27th International Symposium on Dry Process (Jeju, Korea) ◎M. Ishikawa, I. Muramoto, H. Machida, S. Imai, A. Ogura, H. Suzuki and Y.Ohshita'