オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志 所属 明治大学 理工学部 職種 専任教授 |
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発表年月日 | 2005/10 |
発表テーマ | Relaxation of Strained-SOI substrates by RTA process |
発表形式 | 口頭(一般) |
発表者・共同発表者 | 'IEEE International SOI Conference (Hawaii, USA) ◎K. Yamasaki, D. Kosemura, S.Tanaka , A. Ogura, I. Chiba and R. Shimidzu ' |