カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	2010/09/14
発表テーマ	反応性スパッタリング法で作製した窒化タンタル薄膜の諸性質
会議名	2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
主催者	社団法人　応用物理学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	田島裕章，勝俣　裕，植草新一郎