サワノ　ヒロシ   SAWANO HIROSHI   澤野　宏    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2012/06/08
発表テーマ	A newly developed nano-pattern generator equipped with an on-machine measuring function
会議名	Technical Meeting in PTB
学会区分	研究会・シンポジウム等
発表形式	口頭（招待・特別）
単独共同区分	単独
招待講演	招待講演
開催地名	PTB, Germany