オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
2005/09
発表テーマ
W成膜のための液体CVD原料：i-PrCp_2_WH_2_
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
応用物理学会秋季学術講演会 ◎今井、村本、石川、町田、小椋、大下