カツマタ ヒロシ
KATSUMATA Hiroshi
勝俣 裕
所属
明治大学 理工学部
職種
専任准教授
発表年月日
2013/09/18
発表テーマ
NH
3
ガスを用いたAl薄膜の直接窒化によるAlN薄膜の形成
会議名
2013年秋季第74回応用物理学会学術講演会
主催者
応用物理学会
発表形式
口頭（一般）
単独共同区分
共同
発表者・共同発表者
梶原 舜，鍵政 亮介，松本 允洸，勝俣 裕