オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2006/10
発表テーマ	W-CVD using biscyclopentadienyltungsten system
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	'Advanced Metallization Conference, US Session (San Diego) ◎S. Imai, T. Kagawa H. Kurozaki, A. Ogura, M. Ishikawa, I. Muramoto, H, Machida '