オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2005/05
発表テーマ	Nickel thin film deposition using Ni(PF_3_)_4_ for LSI electrode
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	'International Symposium on Silicon-on-insulator Technology and Electrochemical Society Meeting (Quebec City. Canada) ◎M.Ishikawa, H. Machida, A. Ogura and Y. Ohshita'