イシハラ　ヤストシ   ISHIHARA Yasutoshi   石原　康利    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2007/03
発表テーマ	RF CMOS-MEMSの検討(2):RF MEMSスイッチの低電圧化
会議名	第54回応用物理学関係連合講演会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	草山裕助、桑原　啓、佐藤昇男、森村浩季、阪田知巳、工藤和久、矢野正樹、町田克之、石井　仁