オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2005/05
発表テーマ	Evaluation of commercial SGOI and SSOI wafers comparing with epitaxially grown strained-Si by means of laser confocal inspection system
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	'International Symposium on Silicon-on-insulator Technology and Electrochemical Society Meeting (Quebec City. Canada) ◎A. Ogura, O. Okabayashi '