カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	1998/06/22
発表テーマ	Formation of oxide thin films by O2-cluster ion beam assisted deposition
会議名	12th International Conference on Ion Implantation Technology, Kyoto, Japan
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	H. Katsumata, J. Matsuo, T. Nishihara, T. Tachibana, K. Yamada, M. Adachi, E. Minami and I. Yamada