オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
2005/03
発表テーマ
Ni(PF_3_)_4_を用いたNi薄膜の堆積Ⅱ
発表形式
口頭(一般)
発表者・共同発表者
春季応用物理学関係連合講演会 ◎石川、町田、小椋、大下