オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2005/03
発表テーマ	放射光Ｘ線回析法による歪みSi/SiGe/Si基板（市販）の格子歪み評価（Ⅳ）歪みSi層の結晶性評価
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	春季応用物理学関係連合講演会　◎富田、林、安井、吉田、福田、津坂、篭島、松井、小椋