オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
2004/03
発表テーマ
線照射Raman測定による歪Si/SiGe/Si基板の結晶性評価
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
春季応用物理学関係連合講演会
山本、中島、小椋、上嶋、山本