カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	1995/04
発表テーマ	Fabrication of epitaxial silicides thin films by combining low-energy ion beam deposition and silicon molecular beam epitaxy
会議名	Mater. Res. Soc. Symp.
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	"H. Shibata, Y. Makita, H. Katsumata, 他8名"