オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2004/03
発表テーマ DUVラマン分光とVISラマンイメージによる歪Si/GeSi/Si基板の評価
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 春季応用物理学関係連合講演会
中島、山本、小椋、上嶋、山本