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カツマタ ヒロシ
KATSUMATA Hiroshi
勝俣 裕 所属 明治大学 理工学部 職種 専任准教授 |
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| 発表年月日 | 2013/09/16 |
| 発表テーマ | RF スパッタ法によるZnO 系薄膜の形成におけるGaN 添加とその後のNH3 窒化処理の影響 |
| 会議名 | 2013年秋季第74回応用物理学会学術講演会 |
| 主催者 | 応用物理学会 |
| 発表形式 | 口頭(一般) |
| 単独共同区分 | 共同 |
| 発表者・共同発表者 | 岩田 純一,荒木 拓海,平野 祐,勝俣 裕 |