オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2006/09
発表テーマ	Properties of chemical reaction during Ni and Ni-silicide deposition using Ni(PF_3_)_4_ and Si_3_H_8
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	Advanced metallization Conference, Asian Session I. Muramoto, H. Machida, S. Imai, A. Ogura, Y.Ohshita