オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
2003
発表テーマ
市販SOI基板中欠陥の分布および構造解析
発表形式
口頭(一般)
発表者・共同発表者
日本学術振興会「結晶加工と評価技術」第145委員会 第97回研究会結晶