オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2003/09
発表テーマ	NiSi MOCVD for FinFET and UTB-SOI
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　　IEEE International SOI Conference H.Wakabayashi, M.Ishikawa, T.Kada, H.Machida, Y.Ohshita