カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	2014/11/13
発表テーマ	Formation of ZnGaON Films Prepared by Two Types of co-Sputtering using ZnO or Zn Target and their Optical Properties
会議名	AVS (American Vacuum Society) 61st International Symposium and Exhibition (AVS-61), Baltimore, USA (TF-ThP9)
学会区分	国際学会
発表形式	ポスター
単独共同区分	共同
開催地名	Baltimore, USA
発表者・共同発表者	Junichi Iwata, Y. Hirano, H. Sase and H. Katsumata